Fotolithography ialah proses yang digunakan dalam mikrofabrikasi untuk memindahkan corak geometri kepada filem atau substrat. Bentuk dan corak geometri pada semikonduktor membentuk struktur kompleks yang membolehkan dopan, sifat elektrik dan wayar melengkapkan litar dan memenuhi tujuan teknologi.
Apakah proses fotolitografi?
Fotolithography, juga dipanggil litografi optik atau litografi UV, ialah proses yang digunakan dalam mikrofabrikasi untuk mencorak bahagian pada filem nipis atau sebahagian besar substrat (juga dipanggil wafer). … Dalam litar bersepadu yang kompleks, wafer CMOS boleh melalui kitaran fotolitografik sebanyak 50 kali.
Apakah proses pembuatan mikro?
Microfabrication ialah proses fabrikasi struktur miniatur skala mikrometer dan lebih kecil. … Konsep dan prinsip utama pembuatan mikro ialah mikrolitografi, doping, filem nipis, goresan, ikatan dan penggilap.
Apakah itu proses litografi dalam semikonduktor?
Sistem litografi semikonduktor menjalankan proses di mana corak litar yang sangat kompleks yang dilukis pada topeng foto yang diperbuat daripada plat kaca besar dikurangkan menggunakan kanta berprestasi ultra tinggi dan terdedah pada substrat silikon yang dikenali sebagaiwafer. …
Apakah litografi dalam proses fabrikasi?
Litografi ialahproses memindahkan corak bentuk geometri dalam topeng kepada lapisan nipis bahan sensitif sinaran (dipanggil rintangan) yang meliputi permukaan wafer semikonduktor. Rajah 5.1 menggambarkan secara skematik proses litografi yang digunakan dalam fabrikasi IC.
