Dalam kes litografi semikonduktor (juga dipanggil fotolitografi), batu kami ialah silikon wafer dan corak kami ditulis dengan polimer sensitif cahaya yang dipanggil photoresist.
Apakah yang anda maksudkan dengan fotolitografi?
Fotolithography, juga dipanggil litografi optik atau litografi UV, ialah proses yang digunakan dalam fabrikasi mikro untuk mencorak bahagian pada filem nipis atau sebahagian besar substrat (juga dipanggil wafer). … Kaedah ini boleh mencipta corak yang sangat kecil, sehingga beberapa puluh nanometer dalam saiz.
Mengapa litografi digunakan dalam pembuatan semikonduktor?
Fotolithography ialah proses yang digunakan dalam mikrofabrikasi untuk memindahkan corak geometri kepada filem atau substrat. Bentuk dan corak geometri pada semikonduktor membentuk struktur kompleks yang membolehkan dopan, sifat elektrik dan wayar melengkapkan litar dan memenuhi tujuan teknologi.
Apakah tujuan fotolitografi?
Fotolithography ialah salah satu kaedah mikrofabrikasi yang paling penting dan paling mudah, dan digunakan untuk mencipta corak terperinci dalam bahan. Dalam kaedah ini, bentuk atau corak boleh terukir melalui pendedahan terpilih polimer sensitif cahaya kepada cahaya ultraungu.
Apakah itu peralatan litografi semikonduktor?
Peralatan litografi semikonduktor digunakan dalam fasa pendedahan cip semikonduktorproses pembuatan. … Peralatan litografi semikonduktor menggunakan kanta unjuran untuk mengurangkan corak litar, yang ditulis pada plat asal yang dipanggil reticle, dan mendedahkan corak pada wafer.
