Dalam percikan Magnetron yang tidak seimbang, plasma juga ditarik ke atas ke dalam substrat, dan ion argon juga mengebom lapisan nipis yang semakin meningkat. … Kehadiran elektron di sekeliling substrat membawa kepada pengionan atom gas neutral dan penembusan plasma ke dalam kawasan ini.
Mengapa magnetron terpercik?
Sputtering magnetron menggunakan medan magnet tertutup untuk memerangkap elektron, meningkatkan kecekapan proses pengionan awal dan mencipta plasma pada tekanan yang lebih rendah, mengurangkan kedua-dua penggabungan gas latar belakang dalam pertumbuhan kehilangan filem dan tenaga dalam atom terpercik melalui perlanggaran gas.
Apakah yang boleh digunakan untuk magnetron sputtering?
5 Pemendapan terpercik magnetron. Magnetron sputtering ialah teknik salutan vakum berkadar tinggi yang membolehkan pemendapan pelbagai jenis bahan, termasuk logam dan seramik, pada seberapa banyak jenis bahan substrat dengan menggunakan magnet yang dibentuk khas medan digunakan pada sasaran sputtering diod.
Apakah medan tertutup yang tidak seimbang magnetron sputtering?
Sistem Penyaduran Ion Sputter Magnetron Tidak Seimbang Medan Tertutup, yang dibangunkan oleh Teer Coatings Ltd, menghasilkan keadaan pemendapan yang dioptimumkan membolehkan pemendapan salutan padat dan keras dengan lekatan yang sangat baik. Susunan CFUBMSIP dilindungi oleh paten yang diberikan kepada Teer Coatings Ltd.
Apakah magnetron tidak seimbang?
Magnetron biasanya dikelaskan sebagai 'seimbang' atau 'tidak seimbang'. … Jika titik nol hampir dengan permukaan sasaran, elektron boleh melepaskan diri dengan lebih mudah dan magnetron tidak seimbang. Reka bentuk yang tidak seimbang boleh menghasilkan pengeboman ion tinggi pada filem nipis pada masa yang sama dengan pemendapan.
