Fotolitografi biasanya digunakan untuk menghasilkan cip komputer. Apabila menghasilkan cip komputer, bahan substrat adalah wafer silikon yang dilindungi tahan. Proses ini membolehkan ratusan cip dibina serentak pada satu wafer silikon.
Bagaimanakah fotolitografi dilakukan?
Fotolithography menggunakan tiga langkah proses asas untuk memindahkan corak daripada topeng kepada wafer: coat, develop, expose. Corak dipindahkan ke lapisan permukaan wafer semasa proses seterusnya. Dalam sesetengah kes, corak rintangan juga boleh digunakan untuk menentukan corak bagi filem nipis yang didepositkan.
Mengapa ia dipanggil fotolitografi?
Litografi Semikonduktor (Fotolitografi) - Proses Asas . Pembikinan litar bersepadu (IC) memerlukan pelbagai proses fizikal dan kimia yang dilakukan pada substrat semikonduktor (cth. silikon). … Perkataan litografi berasal daripada bahasa Yunani lithos, bermaksud batu, dan graphia, bermaksud menulis.
Mengapa litografi penting?
Litografi ialah proses memindahkan corak bentuk geometri dalam topeng kepada lapisan nipis bahan sensitif sinaran (dipanggil rintangan) yang meliputi permukaan wafer semikonduktor. Rajah 5.1 menggambarkan secara skematik proses litografi yang digunakan dalam fabrikasi IC.
Apakah kaedah yang paling banyak digunakan dalam kaedah litografi?
Optiklitografi ialah teknik berasaskan foton yang terdiri daripada menayangkan imej ke dalam emulsi fotosensitif (photoresist) yang disalut pada substrat seperti wafer silikon. Ia merupakan proses litografi yang paling banyak digunakan dalam pembuatan volum tinggi nano-elektronik oleh industri semikonduktor.
